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                    - 分類:新聞中心
- 發(fā)布時(shí)間:2020-09-23 14:51
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- 發(fā)布時(shí)間:2020-09-23 14:51
復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院從載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司采購(gòu)了兩臺(tái)RTP-100快速退火爐,一臺(tái)用于快速退火氧化工藝(RTO),一臺(tái)用于快速退火還原工藝。兩臺(tái)快速退火爐均為德國(guó)UniTemp公司生產(chǎn),放置在復(fù)旦大學(xué)張江校區(qū),本月均通過(guò)了學(xué)校組織的驗(yàn)收,正式投入科研工作。
                關(guān)鍵詞:                
            
                       
            
            
                    上一個(gè):
                                            無(wú)
                                        
                
                
                                                
                    下一個(gè):
                                            無(wú)
                                        
                
            
                    上一個(gè):
                                            無(wú)
                                        
                
                
                                                
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                                            無(wú)
                                        
                
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